面向MEMS、納米技術和半導體市場的晶圓鍵合與光刻設備（含納米壓印設備）的領仙供應商 EVG宣布，與特種玻璃和微晶玻璃領域的世界領仙技術集團SCHOTT合作，證明300毫米(12英寸)納米壓印光刻技術(NIL)在下一代增強/混合現實(AR/MR)頭戴設備耳機的波導/光導制造中使用的高折射率(HRI)玻璃晶圓的大批量圖案化已準備就緒。
此次合作涉及EVG專有的SmartNIL ®工藝和SCHOTT RealView™高折射率玻璃晶圓，將在EVG位于奧地利總部的NILPhotonics®能力中心進行。SCHOTT將于9月4日至7日在深圳會展中心舉行的中國國際光電博覽會上展示一款采用EVG SmartNIL技術制成圖案的300毫米SCHOTT RealView™玻璃晶圓。
SCHOTT增強現實技術負責人Ruediger Sprengard博士表示：“將高折射率玻璃晶圓的制造擴展到 300 毫米，對于實現規模經濟至關重要，我們的客戶需要滿足當今和未來領仙的AR / MR設備不斷增長的市場需求。"通過雙方的共同努力，EVG和SCHOTT展示了300毫米HRI玻璃制造所需的設備和供應鏈準備情況。"
到目前為止，使用納米壓印技術對具有光子學應用結構的玻璃基板進行圖案化處理僅限于200毫米基板。向300毫米晶圓加工的過渡是AR / MR頭戴設備耳機進入大眾消費市場和工業市場的重要一步。然而，在這些較大的基板上保持基板的高質量和工藝均勻性是很難控制的事情，需要先進的自動化和工藝控制能力。EVG的SmartNIL技術是多年研究、開發和實驗的結晶，旨在滿足納米圖案化的需求，并已被實踐證明可輕松從芯片級樣品尺寸一直擴展到大面積基板。今年6月，EVG推出了HERCULES NIL 300 mm，將SmartNIL引入300毫米制造領域，支持各種器件和應用的生產需求，包括用于AR、MR和虛擬現實（VR）耳機頭戴設備的光學器件，以及3D傳感器、生物醫療器件、納米光子學和等離子體。
“EVG的NILPhotonics能力中心成立于2014年，為NIL供應鏈中的各種合作伙伴和公司提供了一個開放式創新孵化器，從而縮短創新型光子器件和應用的開發周期和上市時間，“ EVG企業技術開發和知識產權總監Markus Wimplinger表示，“我們很高興與SCHOTT公司合作，展示EVG納米壓印解決方案的價值，不僅可以促進新技術和新工藝的開發，還可以加快其進入大眾市場的速度。我們與SCHOTT合作開展的工作證明了納米壓印設備和工藝的成熟度，并為各種令人興奮的基于光子學的新產品和應用的300毫米制造奠定了基礎。"
SCHOTT RealView™高折射率玻璃晶圓是領仙的AR / MR器件的關鍵組件，已經實現了批量生產。產品組合提供了高達1.9的折射率，支持深度沉浸式AR / MR應用，視野更加寬廣，可達65度。在與AR硬件制造商合作研發多年后，SCHOTT于2018年推出了第一代SCHOTT RealView™。上市僅一年，這款產品就榮獲了久負盛名的2019年SID顯示行業大獎（SID Display Industry Award 2019）。
關于SCHOTT
SCHOTT是特種玻璃、微晶玻璃和相關高科技材料領域的國際領仙技術集團。公司擁有130多年的經驗，是眾多行業的創新合作伙伴，其中包括家用電器、制藥、電子、光學、生命科學、汽車和航空業。SCHOTT在全球34個國家設有生產基地和銷售辦事處。集團目前擁有員工超過15,500名，2017/2018財年的銷售額為20.8億歐元。總部位于德國美因茨的母公司SCHOTT AG，由卡爾蔡司基金會（Carl Zeiss Foundation）全資擁有。卡爾蔡司基金會是德國歷史最悠久的私立基金會之一，作為一家基金會公司，SCHOTT對員工、社會和環境負有特殊責任。
關于EVG
EV Group (EVG) 是為半導體、微機電系統 (MEMS)、化合物半導體、功率器件和納米器件制造提供大批量生產設備和工藝解決方案的領仙供應商。主要產品包括晶圓鍵合、薄晶圓加工和光刻/光刻納米壓印 (NIL) 設備，光刻膠涂布機，以及清潔和檢測/計量系統。EVG 成立于 1980 年，為全球各地的客戶和合作伙伴提供服務和支持。
