硬化涂層膜厚儀是一款快速、準(zhǔn)確測(cè)量薄膜表征應(yīng)用的模塊化解決方案，要求的光斑尺寸小到幾個(gè)微米，如微圖案表面，粗糙表面及許多其他表面。它可以配備一臺(tái)計(jì)算機(jī)控制的XY工作臺(tái)，使其快速、方便和準(zhǔn)確地描繪樣品的厚度和光學(xué)特性圖。
工作原理：
本產(chǎn)品采用電磁感應(yīng)法測(cè)量涂層的厚度。位于部件表面的探頭產(chǎn)生一個(gè)閉合的磁回路，隨著探頭與鐵磁性材料間的距離的改變，該磁回路將不同程度的改變，引起磁阻及探頭線圈電感的變化。利用這一原理可以精確地測(cè)量探頭與鐵磁性材料間的距離，即涂層厚度。
硬化涂層膜厚儀的符合以下執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)：
GB/T 4956-1985 磁性金屬基本上非磁性覆蓋層厚度測(cè)量（磁性方法）；
JB/T 4957-1985 磁性和渦流式覆層厚度測(cè)量?jī)x；
JJG 889-95《磁阻法測(cè)厚儀》；
GB/T 4957-1985 非磁性金屬基體上非導(dǎo)電覆層厚度測(cè)量（渦流方法）；
JJG 818-93《電渦流式測(cè)厚儀》；
主要特點(diǎn)：
1、硬化涂層膜厚儀具有電源欠壓指示功能；
2、操作過程有蜂鳴聲提示；
3、具有存貯功能：可存貯300個(gè)測(cè)量值；
4、可設(shè)置限界：對(duì)限界外的測(cè)量值能自動(dòng)報(bào)警；
5、具有兩種測(cè)量方式：連續(xù)測(cè)量方式和單次測(cè)量方式；
6、具有兩種工作方式：直接方式和成組方式；
7、設(shè)有五個(gè)統(tǒng)計(jì)量：平均值、最大值、最小值、測(cè)試次數(shù)、標(biāo)準(zhǔn)偏差；
8、可進(jìn)行零點(diǎn)校準(zhǔn)和二點(diǎn)校準(zhǔn)，并可用基本校準(zhǔn)法對(duì)測(cè)頭的系統(tǒng)誤差進(jìn)行修正；
9、具有刪除功能：對(duì)測(cè)量中出現(xiàn)的單個(gè)可疑數(shù)據(jù)進(jìn)行刪除,也可刪除涂層測(cè)厚儀存貯區(qū)內(nèi)的所有數(shù)據(jù)，以便進(jìn)行新的測(cè)量；
10、具有與PC機(jī)通訊的功能：可將測(cè)量值、統(tǒng)計(jì)值傳輸至PC機(jī)，以便涂層測(cè)厚儀對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行進(jìn)一步處理。
